ЕМКОСТНЫЕ ПРИБОРЫ НА ОСНОВЕ ПЕРВИЧНЫХ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ МИКРОПЕРЕМЕЩЕНИЙ

 

Г.М.Горбова

 


Научно-техническим центром «Ангстрем» и АО Барнаульское ОКБА НПО «Химавтоматика» разработан ряд емкостных приборов для измерения различных неэлектрических величин, которые могут широко использоваться в промышленности. (таблица)


 

N

п.п

Наименование средства измерения

Тип

Диапазон измерения

Абсолютная погрешность

Стадия освоения

Заказчик

1

Прибор для измерения микроперемещений плоской заземленной поверхности ИП-1 [1,2]

Цифровой, сигнализирующий

(0±200)мкм

±0,2мкм

макет (1шт.)

БОКБА

(г. Барнаул)

2

Девятиканальная система для измерения отклонения формы маски дисплейных кинескопов ИФМ-1 [1,2]

Показывающая, аналоговая, сигнализирующая

(0±600)мкм

±30мкм

макет (1шт.)

Завод «Хромотрон»

(г. Москва)

3

Прибор для измерения толщины движущейся ленты ИТЛ-1[1,2]

Цифровой, сигнализирующий

(10-500)мкм

±1мкм

Разовая партия (8 шт.)

Завод «Спецсплавов»

(г. Москва)

4

Трехканальная система для измерения отклонений толщины металлической ленты ИТЛ-2 [2,3]

Показывающая, аналоговая

±10 мкм

±1мкм

Разовая партия (3 шт.)

Металлургический комбинат

(г. Выкса)

5

Измеритель влажности микрокристаллической целлюлозы ИВ-1 [2,4]

Показывающий, аналоговый

(2-7)%

±0,5%

Разовая партия (2 шт.)

АО «Полиэкс»

(г. Бийск)

6

Измеритель объема металлической ленты МИКРОН-3

Показывающий, аналоговый

(1.4-2)см3

 

±0,02 см3

Разовая партия (2 шт.)

Металлургический комбинат

(г. Выкса)

 

 


Приборы основаны на емкостном методе. В приборах по пп. 1-5 использован первичный преобразователь с компланарными электродами [2], в приборе по п. 6 - в виде плоского конденсатора. Для измерения  емкости использованы трансформаторные мосты переменного тока.

 

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

 

1. Госьков П.И., Гришин П.П., Горбова Г.М. Приборы контроля геометрических размеров с применением компланарных трехэлектродных преобразователей. Тез. докл. Первой междун. конф. «Нанотехнология, наноэлектроника и криоэлектроника». Барнаул, 1992. С.168-171.

2. А.с.1755034 СССР, МКИ G 01 B 7/00. Емкостной датчик линейных перемещений / П.И. Госьков, Г.М. Горбова. Опубл. 15.08.92. Бюл. № 30.

3. Фог В.П., Горбова Г.М. Измеритель отклонения толщины металлической ленты ИТЛ-2. Информационный листок АлтЦНТИ, № 440-93. С.2.

4. Горбова Г.М. Измеритель влажности микрокристаллической целлюлозы. Информационный листок АлтЦНТИ, № 149-95. С.2.